光電產業超純水設備由石英砂過濾器、活性炭過濾器、軟化器和精密過濾器組成預處理系統，主要設備有反滲透裝置、EDI模塊。傳統的超純水設備采用陰陽混床裝置，如今EDI技術取代了混床的應用。

在反滲透系統中，RO膜是至關重要的，其性能不僅直接影響水質以及產水量，同時也是整個系統能夠穩定運行的關鍵。因此需要對設備進行定時的維護和保養。

反滲透純水設備是采用反滲透技術，利用半透過性膜選擇性通過的特點，對原水進行過濾，使產水滿足廣大行業的使用標準。 現反滲透純水設備已廣泛應用于以下行業：

反滲透膜經過長時間運行后由于無機鹽、金屬氧化膜、膠體、懸浮固體物等污染，導致產水水質不符合標準，此時應該對反膜元件進行清洗。

一般反滲透純水設備都配有多介質過濾器、活性炭過濾器、軟化樹脂過濾器。定期的正反沖洗可以清除過濾器中存留的雜質污染物，活性炭過濾可有效去除水中的游離氯、色度、微生物、有機物以及部份重金屬等有害物質。

預處理+反滲透+EDI工藝，采用EDI連續除鹽膜塊，無需酸堿再生。經過處理后的水質可達到15M以上。前期投資比較多，但運行成本低，安全環保。

臭氧電源開關開啟后，指示燈不亮，冷卻風扇不轉，說明設備沒有通電。 其原因可能為： 1、電源接觸不良 2、保險絲斷路 3、電源變壓器損壞

EDI（electrodeionization）是一種新的超純水制備技術，與傳統混床技術相比操作簡單、運行穩定，在整個工藝過程中無酸堿等有害物質的產生，環保安全。EDI是傳統離子交換混床工藝的最佳取代技術。

活性炭過濾器是利用活性炭表面所具有的豐富的毛細孔對水中有機物、余氯、鐵氧化物、膠體等進行吸附過濾。