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集成電路生產用超純水

2024/4/25 9:29:25

【武漢純水設備】集成電路生產用超純水

在集成電路生產中,超純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,其中包括硅片氧化的水汽源,部分設備的冷卻水,配制電鍍液等。

集成電路生產過程中大量工序需要使用超純水,其水質與集成電路的產品質量及生產成品率關系很大。

水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬 (AuAg、Cu等)會使PN結耐壓降低,Ⅲ族元素(BAl、Ga等)會使N型半導體特性惡化,Ⅴ族元素(P、As、Sb等)會使P型半導體特性惡化,水中細菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20-50%)會使P型硅片上的局部區域變為N型硅而導致器件性能變壞,水中的顆粒(包括細菌)如吸附在硅片表面,就會引起電路短路或特性變差。

超純水中的各種離子化合物已去除至極低,電阻率最大能達到18.25MΩ.cm,滿足集成電路生產工藝要求。武漢反滲透純水設備 武漢EDI純水處理設備 武漢工業純水設備 武漢實驗室純水設備 武漢純化水設備


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